柴油发电机组受潮后，需要采取以下措施进行处理：

切断电源：首先，应立即切断发电机组的电源，以避免电气部件受潮导致电击或短路的风险。

清除水分：将发电机组表面的积水或潮湿区域清除干净，可以使用吸水性强的布或吸水器进行清理。同时，注意不要将水分进一步引入到发电机组内部。

干燥发电机组：将发电机组放置在通风良好的干燥环境中，可以使用风扇或加热器加速干燥过程。确保发电机组完全干燥，以防止进一步损坏。

检查电气部件：仔细检查发电机组的电气部件，如电缆、插头、开关等是否受潮。如有发现受潮的电气部件，应进行彻底的清洁和干燥，并确保无任何水分残留。

检查燃油系统：检查燃油系统是否受到水分污染。如发现水分进入燃油系统，应及时排空燃油箱和燃油管路，并更换受污染的燃油。

专业维修：如果发电机组受潮情况严重或无法恢复正常工作，建议寻求专业维修人员的帮助。他们可以对发电机组进行全面的检查和修复，以确保其正常运行。

请注意，柴油发电机组受潮后可能会导致电气故障、腐蚀和损坏等问题，因此及时的处理和维修至关重要。在处理过程中，确保安全操作，并遵循相关的安全规程。